氣相(xiang)沉(chen)積按形(xing)(xing)成(cheng)的(de)基本原理(li)，分為(wei)化學(xue)氣相(xiang)沉(chen)積（CVD）和物(wu)理(li)氣相(xiang)沉(chen)積（PVD）。氣相(xiang)沉(chen)積是在(zai)工件表面覆蓋一(yi)層(ceng)厚度為(wei)0.5～10μm的(de)過(guo)渡(du)族元(yuan)素（Ti、V、Cr、W、Nb等(deng)）與C、N、O、B等(deng)形(xing)(xing)成(cheng)的(de)化合物(wu)，或單一(yi)的(de)金屬及非(fei)金屬涂(tu)層(ceng)，使零件表層(ceng)改(gai)變(bian)化學(xue)成(cheng)分，并在(zai)其(qi)表面形(xing)(xing)成(cheng)功能性（例(li)如超硬耐磨層(ceng)）或裝飾性的(de)化合物(wu)涂(tu)層(ceng)的(de)新技術，現已廣泛應用于各類(lei)(lei)零件的(de)硬化處理(li)。沉(chen)積層(ceng)的(de)主(zhu)要(yao)類(lei)(lei)別(bie)及特性見表3-38。
主要(yao)應(ying)用的沉積層TiC、TiN涂層有以下(xia)特點：
a. 涂層有(you)很高的(de)硬度（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的(de)摩(mo)擦(ca)因數和自(zi)潤滑(hua)性能(neng)(neng)，所以抗磨粒(li)磨損性能(neng)(neng)良好。
b. 涂(tu)層具有很高(gao)(gao)的熔點（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化學穩(wen)定性好，基體(ti)金屬在涂(tu)層中(zhong)的溶(rong)解度小，摩擦(ca)因(yin)(yin)數較低(di)，因(yin)(yin)而(er)具有很高(gao)(gao)的抗粘著磨損能(neng)力，使用中(zhong)發(fa)生冷焊和咬合的傾向也(ye)很小，而(er)且TiN比TiC更好。
c. 涂(tu)層(ceng)有較強的(de)耐蝕性(xing)，TiC涂(tu)層(ceng)在硫酸(suan)、鹽酸(suan)、氯(lv)化鈉(na)水溶液中(zhong)的(de)耐蝕性(xing)良好(hao)，而且TiN的(de)耐蝕性(xing)一般都比(bi)TiC更好(hao)一些(xie)。
d. 涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力（TiC大約可達400℃，TiN大約可達500℃），高于以上溫度，在空氣中的TiC、TiN將被氧化成TiO2而失去其原來的性能。
